大型制氮機(jī)采用“制氮機(jī)震動平臺”法裝填，使分子篩分布均勻*，通過裝填方法有效控制了由于人為因素而造成的裝填密度不到；有效延長碳分子篩使用壽命。

   制氮機(jī)降低了閥門的磨損，延長了設(shè)備的使用壽命和降低了維護(hù)費用，分子篩對氧的吸附達(dá)到平衡，根據(jù)碳分子篩在不同壓力下對吸附氣體的吸附量不同的特性，降低壓力使碳分子篩解除對氧的吸附，這一過程為再生。根據(jù)再生壓力的不同，可分為真空再生和常壓再生，常壓再生利于分子篩的再生，易于獲得高純度氣體。

   制氮機(jī)是按變壓吸附技術(shù)設(shè)計、制造的氮氣發(fā)生設(shè)備，通常使用兩吸附塔并聯(lián)，由全自動控制系統(tǒng)按特定可編程序嚴(yán)格控制時序，交替進(jìn)行加壓吸附和解壓再生，完成氮氧分離，獲得所需高純度的氮氣。

   制氮機(jī)主要由這幾個部分構(gòu)成：

   1、壓縮空氣凈化組件，由高效除油器、冷凍式干燥機(jī)、精密過濾器和活性炭過濾器組成。工作原理是當(dāng)進(jìn)入空氣緩沖罐進(jìn)行緩沖，然后進(jìn)入高效除油器除去大部分的油、水、塵等雜質(zhì)，再經(jīng)冷凍式干燥機(jī)進(jìn)一步除水，經(jīng)精密過濾器除油、除塵，后進(jìn)入活性炭過濾器進(jìn)一步除油。

   2、氧氮分離系統(tǒng)，由吸附塔、壓緊裝置、附屬閥門及儀表電器組成。采用復(fù)合床結(jié)構(gòu)設(shè)計的吸附塔分A、B兩塔，塔內(nèi)填裝進(jìn)口碳分子篩(采用伸展扭轉(zhuǎn)式振動填充法使碳分子篩裝填更加均以)。潔凈的壓縮空氣首先從A塔入口端經(jīng)碳分子篩向出口端流動，此時O2、CO2、H2O被其吸附，產(chǎn)品氮氣由吸附塔出口端流出。

   結(jié)合電子生產(chǎn)過程的實際需要制作的電子行業(yè)的制氮機(jī)組，設(shè)備具有運行成本低，氮氣純度流量穩(wěn)定，操作簡便等優(yōu)點。大型制氮機(jī)以壓縮空氣為原料，以碳分子篩作為吸附劑，運用變壓吸附原理，利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法，通稱PSA制氮。